晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備氣動(dòng)隔振器是一種減震設(shè)備,能夠根據(jù)沖進(jìn)氣體使其自身的軟性體膨脹波動(dòng),從而支撐機(jī)器的支撐點(diǎn)。這種設(shè)備采用耐老化塑膠制成,內(nèi)部減振方案設(shè)計(jì)科學(xué)合理,可以有效地防止共振現(xiàn)象。氣動(dòng)隔振器是一種標(biāo)準(zhǔn)氣壓式設(shè)備,自振頻率較低,能夠?qū)崿F(xiàn)良好的減震效果。在出廠之前,氣動(dòng)隔振器的內(nèi)部已經(jīng)充入了相對(duì)充足的氣體。如果發(fā)現(xiàn)實(shí)際應(yīng)用需要更多的氣體,可以再次進(jìn)行充氣。
晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備氣動(dòng)隔振器充氣的方法很簡(jiǎn)單:在氣動(dòng)隔振器的側(cè)面上,有一個(gè)突出部分,類似于單氣門嘴。只需要將氣筒的嘴巴與該部位連接,在此之前應(yīng)先確定標(biāo)準(zhǔn)氣壓,以避免氣囊充爆而導(dǎo)致空氣減振器毀壞。使用氣動(dòng)隔振器能夠有效地提高機(jī)器設(shè)備的效率和穩(wěn)定性,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。與汽壓減振筒設(shè)計(jì)方案相結(jié)合,該系統(tǒng)特別適合防護(hù)低頻振動(dòng),適用于震動(dòng)敏感的環(huán)境和高精度設(shè)備。廢話不多說(shuō),它是對(duì)系統(tǒng)和設(shè)備本身起到至關(guān)重要的促進(jìn)作用。